XYZ精密定位平台
以基座法蘭為基準，可進行 XYZ 三軸方向移動
搭載高精度微調機構，可在真空環境中實現穩定且精準的位置控制
採全金屬結構設計，可承受≦200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域 ( VB152XY-Z )
連接法蘭：移動側：ICF70 ｜ 固定側：ICF152
有效內徑：φ36mm
位移範圍：XY軸：7.5mm ｜ Z軸：50mm
重複定位精度：XY軸：0.01mm以下 ｜ Z軸：0.05mm以下
刻度解析度：XY軸：0.001mm ｜ Z 軸：0.02mm
使用壽命：10,000次
漏率：2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤溫度：最高200℃
預備接口：CF34×4
