日本 Insight k.k. 超音波掃描式顯微鏡 SAT
超音波掃瞄顯微鏡 (SAT) 的全名為 Scanning Acoustic Tomography
Insight k.k.(IKK) 本社在日本東京，做超音波掃描檢測領域已經超過30年的歷史
技術原理 利用超音波發射源（Probe）透過純水為介質而傳導到待測試片上，經由超音波的反射或穿透等的作用，將此訊號經機台特定軟體處理成像，常用於失效分析和無損檢測; 超音波頻率高於 20000Hz，可以穿透一定厚度的固態與液態物質，並檢測其結構組成是否有異常。
藉由超音波於不同密度材料反射速率及回傳能量不同的特性來進行分析，遇到不同材料的接合介面時，訊號會部分反射及部分穿透，但當超音波遇到空氣(空隙)介面時，訊號則會100%反射，機台就會接收這些訊號組成影像。
分析應用 主要用來檢測 IC 內部不同位置的脫層、氣洞、裂痕及黏著狀況，也常用於被動元件快速品檢; 超音波將朝向高頻、高 Dumping、超微細 Beam 的方向發展，下方是眾多IKK運用的案例:
- Flip Chip Analysis
- Bonded Wafers
- Ceramic Condensers
- Electrostatic Chuck
- Acoustic Signature: OK / Defective Location
- Solar Cell
- Automotive Assembly
- Automotive Components
- Automotive Power Electronics
- Power Electronics
- Power Device
- Ceramic Component
- CFRP
IKK超音波系統特色是有real time 3D 成像、0.5um最小移動距離、A 掃瞄 (A-scan)、B 掃瞄 (B-scan)、C 掃瞄 (C-scan)、S 圖像 (S-image) 和透射式掃瞄 (T-scan)
