線性定位平台
可搭配XY定位平台使用，整合為XYZ精密定位平台
透過外置梯形螺桿結構設計，可在有限安裝空間內實現高效率的 Z 軸移動控制。
採全金屬結構設計，可承受≦ 200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域
兼具輕量化與精巧設計，有助於節省設備整體空間配置。
( VBLS34 / VBLS70 )
安裝法蘭：ICF34（VBLS34）、ICF70（VBL70）
有效內徑：φ15 mm（VBLS34）、φ38.5 mm（VBL70）
位移範圍：25 mm（VBLS34-ST25、VBLS70-ST25）、50 mm（VBLS34-ST50、VBLS70-ST50）
最小讀取刻度：0.2mm
使用壽命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤溫度：最高200℃
