真空傳送桿
採用高精度管材設計，除可用於真空腔體間之樣品傳送外，亦可應用於升降機構及遮板系統。
可與XYZ精密定位平台搭配使用，使樣品傳送更為便利。
自潤式導引機構設計，具備優異的耐磨耗特性，並可有效降低粉塵產生與異物混入風險。
採全金屬結構設計，可承受≦200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域
透過專用厚壁管材設計，支援長行程需求，並可順利整合自動化系統。
( VMRL34 / VMRL70 / VMRL114 )
搬送方式：磁耦合式
安裝法蘭：ICF34（VMRL34）、ICF70（VMRL70）、ICF114（VMRL114）
建議最大位移範圍：400mm（VMRL34）、700mm（VMRL70）、1000mm（VMRL114）
直線推力（保持力）：2 kgf（VMRL34）、7kgf（VMRL70、VMRL114）
扭矩：1.2 kgf・cm（VMRL34）、8.0 kgf・cm（VMRL70、VMRL114）
