世界首創！

採用電中性原子束，可在電場或磁場中分析絕緣體的表面和原位分析 in situ analysis

離子散射光譜（ISS），尤其是同軸碰撞離子散射光譜（CAICISS），是一種強大的半導體和金屬表面結構分析方法，但絕緣體表面經常由於入射離子的充電效應造成表面分析的困難。

Pascal Co., Ltd. 進一步研究這種 CAICISS 方法，開發了一種飛行時間型原子散射光譜儀，它使用電中性原子束代替離子作為入射探針，可以分析各種材料表面的成分和原子排列。