XY定位平台
以基座法蘭為基準，可進行XY兩軸方向移動
搭載高精度線性導軌系統，可在真空環境中實現穩定且高重複性的精準定位。
採全金屬結構設計，可承受≦200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域
此外，驅動手柄為本公司的產品，可支援烘箱式整機烘烤
相關規格與配置方式，歡迎另行洽詢。( VB70 / VB114 / VB152 / VB203 )
安裝法蘭：ICF70（VB70）、ICF114（VB114）、ICF152（VB152）、ICF203（VB203）
位移範圍：7.5 mm（VB70-XY7.5、VB114-XY7.5）、12.5 mm（VB114-XY12.5、VB152-XY12.5、VB203-XY12.5）
使用壽命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤溫度：最高200℃
