旋轉導入機構
可將旋轉運動穩定傳遞至真空環境中，適用於觀察窗遮板、基板旋轉等應用
採用金屬波紋管密封設計，在確保真空性能的同時提供經濟實惠的解決方案
本產品不適用於馬達驅動，建議以手動方式操作。
採全金屬結構設計，可承受≦200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域
具備高精度，並採輕量化與精巧設計，有助於節省設備整體空間配置。( VBR34 / VBR70 )
安裝法蘭：ICF34（VBR34）、ICF70（VBR70）
最小刻度：0.5°（VBR34）、1°（VBR70）
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤溫度：最高 200℃
