直線導入機構
可將直線運動穩定傳遞至真空環境中，除可搭配熱電偶進行溫度監測外，亦可作為磁耦合轉移機構之端部支撐等用途
金屬波紋管之直線導入機構，不適用於馬達驅動，建議以手動方式操作。
採全金屬結構設計，可承受≦200℃之烘烤處理
驅動機構採用金屬波紋管密封設計，可應用於超高真空領域
具備高精度，並採輕量化與精巧設計，有助於節省設備整體空間配置。( VBL34 / VBL70 )
安裝法蘭：ICF34（VBL34）、ICF70（VBL70）
容許推進力：12kg（VBL34）、20kg（VBL70）
最小刻度：0.05mm
使用壽命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤溫度：最高200℃
