脈衝雷射熱反射法薄膜熱傳導儀 NanoTR

NanoTR 原理

NanoTR 具有先進的信號處理技術，可以進行高速的測量。測試過程中，一束脈衝寬度1ns 的雷射脈衝被周期性（間隔20us）地照射到樣品的加熱面上。使用探測雷射光記錄檢測面相應的對應溫度。通過在極短時間內進行大量的重複測試，對重複信號進行累加，可以獲得優異的信噪比。通過軟件，儀器可以方便地在RF 與FF 兩種測試方式之間進行切換，由此適合於各種類別的樣品。

NanoTR 遵從JIS R 1689，JIS R 1690 標準，提供具有熱擴散時間標準值的薄膜標樣（RM1301-a），使結果具有SI 可回溯性。該標樣由AIST 提供。

NanoTR 儀器結構示意圖

國家標準的可追溯性

在樣品不透明、基體透明的情況下，使用NanoTR 與PicoTR，可對熱擴散係數進行絕對法測量。對於所有的其他情況，例如基體不透明、薄膜為透明，日本國家先進工業科學與技術研究所（AIST）提供了相應的參比材料，其材質為Mo（CRM 5808-a，針對PicoTR）與TiN（ RM 1301-a，針對NanoTR）。這確保了對國家標準的可追溯性。儀器設計遵從日本工業標準（JIS）：

• JIS R 1689：通過脈衝雷射熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散係數；
• JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。