瑞士 COMELEC 聚對二甲苯室溫真空沉積設備-C25S
MODEL C25S
- 非常易於使用和維護
- 實驗室測試，原型和小批量生產的理想選擇
- 非常適合處理直徑最大為150毫米的晶片
- 自動，優化處理C，N，D，AF4，VT4型聚對二甲苯
- 可以在無塵室中安裝它
- 可用選項：控制室溫度，等離子體活化，矽烷預處理等。
- 外形尺寸：長x寬x高1600 x 1100 x 1750毫米
- 箱體：∅250 x H 270 mm
- 工具:: 220 x H 235 mm
- 電壓：400 VAC 3 ph + N + PE 50Hz
- 頻率/功率：50赫茲/3.5千瓦
- Loading：30 g
- 抽氣量：25 m3 / h
- 重量：200公斤
