水晶式隔膜真空計 Qruva™
水晶式隔膜真空計 Qruva™ 採用高精度、高靈敏度的水晶振動式壓電元件
結合本公司獨創的專利感壓與隔熱技術,可於 0.1Pa 至 100kPa 範圍內
透過單一感測頭即可進行不受氣體種類影響的高精度壓力測量。
・單一感測頭即可實現不受氣體種類影響的廣域量測
・採用水晶振動式感壓元件,確保高精度量測
・具備高解析度
・內建控制器,支援多種 I/O 介面
・無加熱器設計,消除熱漂移誤差
・可應用於腐蝕性氣體環境
檢出方式: 水晶壓電元件隔膜位移量測
量測範圍: 100kPa
精度1*:0.2% of Reading(在25℃環境下之線性與再現性的出廠精度。)
精度2*:0.03% Full Scale(在15~45℃環境下,經溫度補償後之線性與再現性之出廠精度)
解析度:0.003Pa(響應時間 6.5 秒),0.0125 Pa(響應時間 1.6 秒)
動作溫度/濕度:+15~+45℃,70%RH 以下
電源電壓/消耗功率:18~36 VDC,≦1.5 W
輸出訊號:Analog 0~10 VDC、RS-485、USB Type-C
I/F 連接器:HR10A-10R-12P(73)、USB Type-C
連接法蘭形式:ICF34
*精度定義:係指量測值減去基準儀器輸出值之差值。此定義不同於測量值減去真值之差值,亦不同於不確定度(Uncertainty)