TOFLAS-3000 飛行時間低能量原子散射光譜儀

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世界首創 - 使用中性原子束進行表面分析

• 可以做到對絕緣體晶體表面分析
• 對最頂層的幾層敏感
• 表面結構可以用視覺評估
• 不受電場和/或磁場影響

典型應用

1. 表面層的結構分析

2. 極曲面的極點輪廓分析

3. 單一原子一層生長監控

4. 表面偏析的分析

5. 結晶成長方式的標準

6. 電場/磁場中的原位分析(in situ analysis)