XYZ精密定位平台
以基座法兰为基准，可进行 XYZ 三轴方向移动
搭载高精度微调机构，可在真空环境中实现稳定且精准的位置控制
采全金属结构设计，可承受≦200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域 ( VB152XY-Z )
连接法兰：移动侧：ICF70 ｜ 固定侧：ICF152
有效内径：φ36mm
位移范围：XY轴：7.5mm ｜ Z轴：50mm
重复定位精度：XY轴：0.01mm以下 ｜ Z轴：0.05mm以下
刻度解析度：XY轴：0.001mm ｜ Z 轴：0.02mm
使用寿命：10,000次
漏率：2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤温度：最高200℃
预备接口：CF34×4
