日本 Insight k.k. 超音波扫描式显微镜 SAT
超音波扫瞄显微镜 (SAT) 的全名为 Scanning Acoustic Tomography
Insight k.k.(IKK) 本社在日本东京，做超音波扫描检测领域已经超过30年的历史
技术原理 利用超音波发射源（Probe）透过纯水为介质而传导到待测试片上，经由超音波的反射或穿透等的作用，将此讯号经机台特定软体处理成像，常用于失效分析和无损检测; 超音波频率高于 20000Hz，可以穿透一定厚度的固态与液态物质，并检测其结构组成是否有异常。
藉由超音波于不同密度材料反射速率及回传能量不同的特性来进行分析，遇到不同材料的接合介面时，讯号会部分反射及部分穿透，但当超音波遇到空气(空隙)介面时，讯号则会100%反射，机台就会接收这些讯号组成影像。
分析应用 主要用来检测 IC 内部不同位置的脱层、气洞、裂痕及黏着状况，也常用于被动元件快速品检; 超音波将朝向高频、高 Dumping、超微细 Beam 的方向发展，下方是众多IKK运用的案例:
- Flip Chip Analysis
- Bonded Wafers
- Ceramic Condensers
- Electrostatic Chuck
- Acoustic Signature: OK / Defective Location
- Solar Cell
- Automotive Assembly
- Automotive Components
- Automotive Power Electronics
- Power Electronics
- Power Device
- Ceramic Component
- CFRP
IKK超音波系统特色是有real time 3D 成像、0.5um最小移动距离、A 扫瞄 (A-scan)、B 扫瞄 (B-scan)、C 扫瞄 (C-scan)、S 图像 (S-image) 和透射式扫瞄 (T-scan)
