线性定位平台
可搭配XY定位平台使用，整合为XYZ精密定位平台
透过外置梯形螺杆结构设计，可在有限安装空间内实现高效率的 Z 轴移动控制。
采全金属结构设计，可承受≦ 200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域
兼具轻量化与精巧设计，有助于节省设备整体空间配置。
( VBLS34 / VBLS70 )
安装法兰：ICF34（VBLS34）、ICF70（VBL70）
有效内径：φ15 mm（VBLS34）、φ38.5 mm（VBL70）
位移范围：25 mm（VBLS34-ST25、VBLS70-ST25）、50 mm（VBLS34-ST50、VBLS70-ST50）
最小读取刻度：0.2mm
使用寿命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤温度：最高200℃
