世界首创！

采用电中性原子束，可在电场或磁场中分析绝缘体的表面和原位分析 in situ analysis

离子散射光谱（ISS），尤其是同轴碰撞离子散射光谱（CAICISS），是一种强大的半导体和金属表面结构分析方法，但绝缘体表面经常由于入射离子的充电效应造成表面分析的困难。

Pascal Co., Ltd. 进一步研究这种 CAICISS 方法，开发了一种飞行时间型原子散射光谱仪，它使用电中性原子束代替离子作为入射探针，可以分析各种材料表面的成分和原子排列。