真空传送杆
采用高精度管材设计，除可用于真空腔体间之样品传送外，亦可应用于升降机构及遮板系统。
可与XYZ精密定位平台搭配使用，使样品传送更为便利。
自润式导引机构设计，具备优异的耐磨耗特性，并可有效降低粉尘产生与异物混入风险。
采全金属结构设计，可承受≦200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域
透过专用厚壁管材设计，支援长行程需求，并可顺利整合自动化系统。
( VMRL34 / VMRL70 / VMRL114 )
搬送方式：磁耦合式
安装法兰：ICF34（VMRL34）、ICF70（VMRL70）、ICF114（VMRL114）
建议最大位移范围：400mm（VMRL34）、700mm（VMRL70）、1000mm（VMRL114）
直线推力（保持力）：2 kgf（VMRL34）、7kgf（VMRL70、VMRL114）
扭矩：1.2 kgf・cm（VMRL34）、8.0 kgf・cm（VMRL70、VMRL114）
