XY定位平台
以基座法兰为基准，可进行XY两轴方向移动
搭载高精度线性导轨系统，可在真空环境中实现稳定且高重复性的精准定位。
采全金属结构设计，可承受≦200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域
此外，驱动手柄为本公司的产品，可支援烘箱式整机烘烤
相关规格与配置方式，欢迎另行洽询。( VB70 / VB114 / VB152 / VB203 )
安装法兰：ICF70（VB70）、ICF114（VB114）、ICF152（VB152）、ICF203（VB203）
位移范围：7.5 mm（VB70-XY7.5、VB114-XY7.5）、12.5 mm（VB114-XY12.5、VB152-XY12.5、VB203-XY12.5）
使用寿命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤温度：最高200℃
