旋转导入机构
可将旋转运动稳定传递至真空环境中，适用于观察窗遮板、基板旋转等应用
采用金属波纹管密封设计，在确保真空性能的同时提供经济实惠的解决方案
本产品不适用于马达驱动，建议以手动方式操作。
采全金属结构设计，可承受≦200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域
具备高精度，并采轻量化与精巧设计，有助于节省设备整体空间配置。( VBR34 / VBR70 )
安装法兰：ICF34（VBR34）、ICF70（VBR70）
最小刻度：0.5°（VBR34）、1°（VBR70）
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤温度：最高 200℃
