直线导入机构
可将直线运动稳定传递至真空环境中，除可搭配热电偶进行温度监测外，亦可作为磁耦合转移机构之端部支撑等用途
金属波纹管之直线导入机构，不适用于马达驱动，建议以手动方式操作。
采全金属结构设计，可承受≦200℃之烘烤处理
驱动机构采用金属波纹管密封设计，可应用于超高真空领域
具备高精度，并采轻量化与精巧设计，有助于节省设备整体空间配置。( VBL34 / VBL70 )
安装法兰：ICF34（VBL34）、ICF70（VBL70）
容许推进力：12kg（VBL34）、20kg（VBL70）
最小刻度：0.05mm
使用寿命：10,000次
漏率：≦ 2 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下
烘烤温度：最高200℃
