TE Mode 共振腔 (薄膜样品) TE mode Cavity Resonator (thin film)
此量测方法专门用于测量薄膜
这种谐振腔也被称为「分离式圆柱谐振腔(split cylinder resonator)」
量测时将薄片状样品插入两个谐振腔之间的间隙中,此方法可支援高达 60 GHz 的频率,因此能满足 5G(第五代行动通讯系统)的需求
我们的 TE 模式谐振腔具有固定的样品插入间隙,与其他产品相比可提供更佳的量测稳定性
它能够测量各种材料,包括柔软及脆性的样品。
频率范围:10 GHz - 60 GHz
频率点:每个谐振腔 1 个频率点
量测范围:
-
εr(Dk):1 - 5
-
tanδ(Df):0.01 - 0.0001
量测精度:
-
εr(Dk):±1%
-
tanδ(Df):±5%
样品形状:薄片(厚度小于 0.3 mm)
符合标准:JIS R1641、IPC-TM650 2.5.5.13
5G 材料、柔性基板等