脉冲雷射热反射法薄膜热传导仪 NanoTR

NanoTR 原理

NanoTR 具有先进的信号处理技术，可以进行高速的测量。测试过程中，一束脉冲宽度1ns 的雷射脉冲被周期性（间隔20us）地照射到样品的加热面上。使用探测雷射光记录检测面相应的对应温度。通过在极短时间内进行大量的重复测试，对重复信号进行累加，可以获得优异的信噪比。通过软件，仪器可以方便地在RF 与FF 两种测试方式之间进行切换，由此适合于各种类别的样品。

NanoTR 遵从JIS R 1689，JIS R 1690 标准，提供具有热扩散时间标准值的薄膜标样（RM1301-a），使结果具有SI 可回溯性。该标样由AIST 提供。

NanoTR 仪器结构示意图

国家标准的可追溯性

在样品不透明、基体透明的情况下，使用NanoTR 与PicoTR，可对热扩散系数进行绝对法测量。对于所有的其他情况，例如基体不透明、薄膜为透明，日本国家先进工业科学与技术研究所（AIST）提供了相应的参比材料，其材质为Mo（CRM 5808-a，针对PicoTR）与TiN（ RM 1301-a，针对NanoTR）。这确保了对国家标准的可追溯性。仪器设计遵从日本工业标准（JIS）：

• JIS R 1689：通过脉冲雷射热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
• JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。