瑞士 COMELEC 聚对二甲苯室温真空沉积设备-C25S
MODEL C25S
- 非常易于使用和维护
- 实验室测试，原型和小批量生产的理想选择
- 非常适合处理直径最大为150毫米的晶片
- 自动，优化处理C，N，D，AF4，VT4型聚对二甲苯
- 可以在无尘室中安装它
- 可用选项：控制室温度，等离子体活化，矽烷预处理等。
- 外形尺寸：长x宽x高1600 x 1100 x 1750毫米
- 箱体：∅250 x H 270 mm
- 工具:: 220 x H 235 mm
- 电压：400 VAC 3 ph + N + PE 50Hz
- 频率/功率：50赫兹/3.5千瓦
- Loading：30 g
- 抽气量：25 m3 / h
- 重量：200公斤
