TOFLAS-3000 飞行时间低能量原子散射光谱仪

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世界首创 - 使用中性原子束进行表面分析

• 可以做到对绝缘体晶体表面分析
• 对最顶层的几层敏感
• 表面结构可以用视觉评估
• 不受电场和/或磁场影响

典型应用

1. 表面层的结构分析

2. 极曲面的极点轮廓分析

3. 单一原子一层生长监控

4. 表面偏析的分析

5. 结晶成长方式的标准

6. 电场/磁场中的原位分析(in situ analysis)